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针对金属粗光栅波形质量差和节距大的缺点，提出了一种通过动态位置检测实现的鉴相细分方案，并完成了系统设计．实践证明，该方案解决了高倍细分数与高测量速度之间的矛盾，为金属光栅尺的应用开辟了新思路．
鉴相技术在金属粗光栅细分中的应用
【摘 要】
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针对金属粗光栅波形质量差和节距大的缺点，提出了一种通过动态位置检测实现的鉴相细分方案，并完成了系统设计．实践证明，该方案解决了高倍细分数与高测量速度之间的矛盾，为金属光栅
【机 构】
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【出 处】
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沈阳工业大学学报
【发表日期】
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1999年05期
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