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该文针对金属粗光栅,提出了通过鉴相细分来实现动态位置检测.金属粗光栅在脆性和接长能力等方面很好的弥补了玻璃光栅的不足,但由......
针对金属粗光栅波形质量差和节距大的缺点，提出了一种通过动态位置检测实现的鉴相细分方案，并完成了系统设计，实践证明，该方案解决了高......
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