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期刊论文
分步重复投影光刻机整机控制管理软件
分步重复投影光刻机整机控制管理软件
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:idalu
【摘 要】
:
计算机分系统是光刻机整机控制和管理的中枢,直接反映和影响整机的性能和介绍了计算机硬件接口控制原理,描述了分步重复投影光刻机系统软件的主要设计思想和软件的主要功能。
【作 者】
:
田宏
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
分步重复光刻机
控制软件
接口
光刻机
Stepandrepeat photoetching machines
Control software
Interfa
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计算机分系统是光刻机整机控制和管理的中枢,直接反映和影响整机的性能和介绍了计算机硬件接口控制原理,描述了分步重复投影光刻机系统软件的主要设计思想和软件的主要功能。
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