【摘 要】
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日本电信电话公司成功研制超导小型同步加速器辐射光(SOR)环状存储器,进行了大电流存储,达到了世界最大的存储电流1215mA。可期待SOR光作为0.15μm以下超微细半导体加工用光
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日本电信电话公司成功研制超导小型同步加速器辐射光(SOR)环状存储器,进行了大电流存储,达到了世界最大的存储电流1215mA。可期待SOR光作为0.15μm以下超微细半导体加工用光源,用大电流存储可实现与现在紫外线加工大致相同的加工时间,今后能应用于0.1μm级器件制作和用于SOR光化学反应等方面。
Nippon Telegraph and Telephone Corporation successfully developed a superconducting small synchrotron radiation (SOR) ring memory and performed high-current storage, reaching the world’s largest storage current of 1215mA. It is expected that SOR light will be used as a light source for ultra-fine semiconductor processing below 0.15μm, which can be stored at a large current for about the same processing time as current UV processing, and can be applied to 0.1μm-level device fabrication and SOR photochemical reactions in the future.
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