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进行了C／SiC复合材料残余应力的小孔法表征。基于现有小孔法的不足以及材料的较好电导率，提出了电火花打孔法的残余应力测量方法，建立了相应的残余应力测量流程。进行了不同平整表面样品的残余应力测量。结果表明电火花打孔法具有较好的区分性，也表明C/SiC复合材料具有较小的本征残余应力和机加工应力，这说明：C／SiC复合材料作为反射镜材料具有很好的面形稳定性的优势。