【摘 要】
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高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数
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高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求.
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