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建立了双层多晶硅ｆｌｏｔｏｘＥＥＰＲＯＭ存储管的阈值电压模型。利用该模型研究了擦／写阈值与擦／写时间、编程电压、隧道孔面积、隧道氧化层厚度的关系。模拟结果和实验结果基本一致。该阈值电压模型为ＥＥＰＲＯＭ单元的优化设计提供了一种快速、简便、实用的准则。
双层多晶硅FlotoxEEPROM单元的优化设计
【摘 要】
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建立了双层多晶硅ｆｌｏｔｏｘＥＥＰＲＯＭ存储管的阈值电压模型。利用该模型研究了擦／写阈值与擦／写时间、编程电压、隧道孔面积、隧道氧化层厚度的关系。模拟结果和实验结果基本一致。该阈值电压模型
【机 构】
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华晶集团中央研究所,东南大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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1997年1期
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