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论述了兆位级集成电路制造对气体的需求,ULSI级气体品种及质量标准,国外电子气新品种的开发,电子气的“超纯”、“超净”技术,对发展我国特气行业提出了15条建议。
国外电子气技术进展及对发展我国特气行业的建议
【摘 要】
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论述了兆位级集成电路制造对气体的需求,ULSI级气体品种及质量标准,国外电子气新品种的开发,电子气的“超纯”、“超净”技术,对发展我国特气行业提出了15条建议。
【机 构】
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化工部光明化工研究所 大连 116031;
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1992年04期
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