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随着电子信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求量越来越大。文章介绍了溅射靶材的制备情况。并对靶材的发展趋势做了探讨。
溅射靶材的制备及发展趋势
【摘 要】
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随着电子信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求量越来越大。文章介绍了溅射靶材的制备情况。并对靶材的发展趋势做了探讨。
【机 构】
：
新疆众和股份有限公司
【出 处】
：
新疆有色金属
【发表日期】
：
2008年05期
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