【摘 要】
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碳化硅（SiC）作为第三代半导体，具有宽禁带、高临界场强、高热导率、耐高温、耐腐蚀等优良性能，然而，良好的欧姆接触是制造SiC器件必不可少的条件。目前，关于SiC欧姆接触的研究还不成熟，报道较多的是金属材料镍（Ni）,但有待更加深入的研究。本文选用金属Ni作为SiC的欧姆接触材料，通过磁控溅射工艺在SiC表面沉积不同厚度的Ni膜，并将样品在1 000℃的真空环境下退火2 min,研究了不同膜厚时的
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
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碳化硅（SiC）作为第三代半导体，具有宽禁带、高临界场强、高热导率、耐高温、耐腐蚀等优良性能，然而，良好的欧姆接触是制造SiC器件必不可少的条件。目前，关于SiC欧姆接触的研究还不成熟，报道较多的是金属材料镍（Ni）,但有待更加深入的研究。本文选用金属Ni作为SiC的欧姆接触材料，通过磁控溅射工艺在SiC表面沉积不同厚度的Ni膜，并将样品在1 000℃的真空环境下退火2 min,研究了不同膜厚时的微观形貌和欧姆接触特性的变化。
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中小企业发展状态直接关系到我国经济是否能保持高质量发展，因此加速数字技术与中小企业的融合发展，提升中小企业在全球价值链中的位置，已成为当前经济社会发展一项重要而紧迫的任务。本文利用381家绍兴市中小企业的调研数据，实证研究发现企业在生产活动使用数字技术、使用多个不同类型的数字平台以及企业新产品开发速度对企业供应链复原能力有显著的促进作用。
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目的 比较常用麻醉剂对压力超负荷致心衰小鼠心功能检测的影响。方法 选用8周龄、体质量20～25 g的雄性C57/BL6小鼠120只，通过主动脉弓缩窄构建小鼠心衰模型。实验分为2部分，第一部分共60只小鼠，通过简单随机化法分为4组，分别使用异氟烷、戊巴比妥钠、氯胺酮和三溴乙醇麻醉小鼠，比较不同麻醉药物对心衰小鼠心功能检测的影响；第二部分共60只小鼠，通过简单随机化法分为9组；第1～3组，每组4只，第
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