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采用压电陶瓷微位移驱动器控制刀具进行实时误差补偿的方法提高轴类零件加工精度。借助物理学分析并结合数学建模的方法，建立压电陶瓷微进给系统的迟滞数学模型。通过实验，针对压电陶瓷驱动器的非线性特征，给出了对其控制电压进行校正的方法。减小压电陶瓷的迟滞非线性误差，提高压电陶瓷微位移驱动器的控制精度，有助于实现压电陶瓷驱动器的高精度开环微位移控制。