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化学法制备光学薄膜及其应用
化学法制备光学薄膜及其应用
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:axian190
【摘 要】
:
概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法 ,及其薄膜特性 ,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的
【作 者】
:
沈军
王珏
吴广明
倪星元
周斌
陈玲燕
【机 构】
:
同济大学波耳固体物理研究所,同济大学波耳固体物理研究所,同济大学波耳固体物理研究所,同济大学波耳固体物理研究所,同济大学波耳固体物理研究所,同济大学波耳固体物理研究所 上海200092,上海20009
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2002年Z1期
【关键词】
:
化学法
薄膜
应用
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概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法 ,及其薄膜特性 ,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的控制技术 ,并展望了某些新型光学薄膜的应用前景
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