【摘 要】
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为实现高精度的气压测量,提出一种利用飞秒激光微加工技术与光纤熔接技术制作的法布里-珀罗(FP)干涉仪(FPI)型光纤气压传感器。利用波长800nm的飞秒激光脉冲在毛细石英管侧壁
【基金项目】
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湖北省自然基金(2014CFB349、2016CFC742);湖北师范大学2015年优秀创新团队(T201502)资助项目
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为实现高精度的气压测量,提出一种利用飞秒激光微加工技术与光纤熔接技术制作的法布里-珀罗(FP)干涉仪(FPI)型光纤气压传感器。利用波长800nm的飞秒激光脉冲在毛细石英管侧壁上加工一微孔,利用光纤熔接技术把毛细石英管熔接在一段单模光纤(SMF)和一段多模光纤(MMF)之间,制备出一种光纤气压传感器。通过改变传感器的FP腔内气压大小,导致FP腔内气体折射率改变,从而引起传感器的透射谱线性漂移,通过计算气压变化量与透射谱的谐振峰波长漂移量之间的关系就能够实现传感器的气压测量。理论分析了传感器实现气压测量的机理,实验测量了传感器的灵敏度。实验结果表明,传感器对周围气压变化的响应较大,透射谱的谐振峰波长随气压线性变化的灵敏度达到4.22nm/Mpa,而传感器对环境温度变化的响应很小,减少了温度对气压测量的交叉感染。
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