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采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据，可以同时得到样品的厚度和光学常数谱。２个计算实例（１）为ＳｉＯ２薄膜，（２）为新型的掺镧的锆钛酸铅（ＰＬＺＴ）非晶类铁电薄膜，该方法精度高，具有较好的通用性。
椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法
【摘 要】
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采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据，可以同时得到样品的厚度和光学常数谱。２个计算实例（１）为ＳｉＯ２薄膜，（２）为新型的掺镧的锆钛酸铅（ＰＬＺＴ）非晶类铁电薄膜，该方法精度高，具有较好的通
【机 构】
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中山大学物理学系
【出 处】
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中山大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金,广东省高等学校重点学科资助
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