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以微粒的阻抗识别为目的，设计出一种三维网格阵列微电极传感器。传感器将介电泳分离与阻抗识别集成在同一芯片上。首先通过介电泳将微粒中的一种分离至测试区域，再通过阻抗信号描述微粒特性。针对芯片关键区域，提出了调节SU8曝光时间以提高阻抗测试有效信号的工艺解决方案。实验表明，SU8最佳曝光时间为70s．对芯片性能的相关实验表明，芯片可对不同直径的乳胶微粒进行介电泳分离与阻抗识别。