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<正> 利用聚焦的CO2激光束作为热源照射电介质、半导体、金属和某些有机物质,使其蒸发然后形成薄膜。实验表明,用这种方法所制备的薄膜要比电阻加热蒸发和电子枪蒸发所制备的薄膜具有更小的污染。文中着重叙述了激光蒸发设备,操作方法和一些实
激光枪蒸发技术
【摘 要】
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<正> 利用聚焦的CO2激光束作为热源照射电介质、半导体、金属和某些有机物质,使其蒸发然后形成薄膜。实验表明,用这种方法所制备的薄膜要比电阻加热蒸发和电子枪蒸发所制备的
【出 处】
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光学机械
【发表日期】
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1979年05期
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