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提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图.为了验证此方法的准确性和可行性,先进行了计算模拟,然后对SiNx薄膜进行了测量.模拟结果与理论值非常接近,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好.此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点.