论文部分内容阅读
在表面栅和埋栅结构的基础上，提出了一种制造静电感应晶体管的新型结构，平面型埋栅结构，用普通的平面工艺实现了具有高击穿电压的埋栅结构，避免了工艺难度较大的二次外延和台面腐蚀工艺，实验结果表明该结构可用于制造各种功率静电感应器件，其优点是具有高的击穿电压和高的阻断增益，并讨论了平面型埋栅结构的主要特点和制造工艺。