【摘 要】
：
单晶硅多线切割过程中,目前已有较多文献对用过砂浆的回收方法进行了研究报道,但关于回收砂浆对硅片几何参数的研究较少。以理论分析为指导,通过实验研究使用回收砂浆对多线
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
论文部分内容阅读
单晶硅多线切割过程中,目前已有较多文献对用过砂浆的回收方法进行了研究报道,但关于回收砂浆对硅片几何参数的研究较少。以理论分析为指导,通过实验研究使用回收砂浆对多线切割100mm(4英寸)和150mm(6英寸)硅片表面几何参数(总厚度变化、翘曲度)的影响,验证了回收碳化硅粉可以按一定条件配制切削砂浆,并进行了成本核算,验证适当使用回收碳化硅可满足生产要求,大幅降低成本。
其他文献
介绍了全自动晶体硅太阳能电池测试分选设备的测试定位机构,重点介绍了视觉定位系统手眼标定的原理和实现方法。基于视觉定位的三维高速测试台能够有效提高设备产能,具有测试准确、稳定和碎片率低的特点。
近年来,泡沫混凝土作为一种轻质保温材料得到广泛应用,然而对泡沫混凝土作为保温材料应用于季节冻土区高铁路基的研究相对较少。以哈齐客专DK221+150断面的现场监测数据为依
以商合杭上跨徐兰高铁T构梁为研究对象,针对大跨度T构曲梁墩顶转体施工控制技术展开研究. 在 MIDAS中对桥梁施工全过程进行了仿真分析,确定了不平衡力矩、顶升力等关键参数,