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在微机电系统中,静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构,因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义。采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,分析几何结构参数与其最大挠度的关系,进一步揭示在微机电结构中微梁抗弯刚度与其厚度的关系。
机电耦合下两端固支微梁的静态分析
【摘 要】
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在微机电系统中,静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构,因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义。采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,分析几
【机 构】
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闽西职业技术学院机械工程系
【出 处】
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机电技术
【发表日期】
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2012年5期
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