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半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程，分析洁净室洁净度维护系统中，日常管理容易出现纰漏的情况，找到预防这些纰漏的原因，并在实际管理过程中去避免这些纰漏。
浅析半导体洁净室的洁净度维护
【摘 要】
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半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程，分析洁净室洁净度维护系统中，日常管理容易出现纰漏的情况，找到预防这些纰漏的原因，并在实际管理过程中去避免这些纰漏。
【机 构】
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中国电子科技集团南京55所
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2013年4期
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