【摘 要】
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介绍了一种制作陶瓷内腔室的工艺方法，该方法可以应用于制作氧化锆氧气传感器内部的气体腔室，包含极限电流氧气传感器、分压型氧气传感器等，并可以对腔室体积自由控制，屏弃了传统
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
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介绍了一种制作陶瓷内腔室的工艺方法，该方法可以应用于制作氧化锆氧气传感器内部的气体腔室，包含极限电流氧气传感器、分压型氧气传感器等，并可以对腔室体积自由控制，屏弃了传统方法利用玻璃封接来实现的工艺步骤。以极限电流氧气传感器为例，研究了内腔室结构对传感器的性能影响，对提高氧气传感器的响应时间和可靠性具有指导意义。
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