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克服铝自掺杂的高温处理新工艺与背封工艺一样,能起到抑制铝自掺杂的作用。该工艺已在实践中取得应用。更多还原
克服铝自掺杂工艺的新进展
【摘 要】
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克服铝自掺杂的高温处理新工艺与背封工艺一样,能起到抑制铝自掺杂的作用。该工艺已在实践中取得应用。更多还原
【机 构】
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中科院上海冶金研究所,中科院上海冶金研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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