一种全场三维共焦检测的新方法

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提出了一种利用微光学阵更合成器件实现全场三维面形并行检测、记录的共焦方法。此方法的关键是,在共焦系统中引入一一微光学耻列合成器件来产生一点光源阵列,实现了对同一一剖面同时并行检测,并首次采用了CCD面阵像元取代上孔光阑直接截取三维信息光强。本文讨论了该方法的三信息检测原理,响应关系,给出了初步的实验结果和三维重构图。
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