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本文分别采用磁控溅射方法、旋涂法及烧结工艺制备了铂电阻温度传感器、聚酰亚胺电容式湿度传感器及氧化锆氧气敏传感器,用MCM技术对可用于检测室内温度、湿度及氧气浓度的组合传感器进行了结构设计,并对制备的温度传感器、湿度传感器及氧气敏传感器的特性进行了测试和讨论.
环境检测与控制用组合传感器研究
【摘 要】
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本文分别采用磁控溅射方法、旋涂法及烧结工艺制备了铂电阻温度传感器、聚酰亚胺电容式湿度传感器及氧化锆氧气敏传感器,用MCM技术对可用于检测室内温度、湿度及氧气浓度的组
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院,电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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2004年4期
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