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针对微波等离子体化学气相沉积金刚石过程中，矩形谐振腔中激发的等离子体稳定性和均匀性差的问题，提出通过用Ansoft软件对矩形压缩谐振腔进行模拟计算来优化设计谐振腔的方法．模拟中，假设除了微波输入端口以外，所有的边界都定义为理想电导体；微波能以平面波的形式，通过矩形波导被耦合到微波谐振腔内；再用高频结构仿真器联合求解满足模型条件的麦克斯韦方程组，得出谐振腔中的电场分布结果．分别模拟了基底深入谐振腔内高度为1．5、2、2．5、3、4mm和基底半径为11、13、15、17mm时，腔体内的电场分布．数值模拟结果表