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采用离子束增强沉积(IBED)法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)在SiO2/Si衬底上制备了具有半导体相-金属相转换特性的二氧化钒薄膜.对两种方法制备薄膜的性能测试结果表明,其转换温度、相变滞豫、热电阻温度系数等都有较大差别.
IBED和Sol－gel制备方法对二氧化钒薄膜性能的影响
【摘 要】
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采用离子束增强沉积(IBED)法和溶胶-凝胶法(Sol-gel)在SiO2/Si衬底上制备了具有半导体相-金属相转换特性的二氧化钒薄膜.对两种方法制备薄膜的性能测试结果表明,其转换温度、
【机 构】
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江苏工业学院,江苏工业学院
【出 处】
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哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
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2003年5期
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