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类金刚石碳膜(简称DLC膜)是一类具有高硬度、化学惰性、低介电常数、宽光学带隙等特点的非晶碳膜,在机械、电子、化学等领域具有广阔的应用前景.类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个:一是寻求人工合成β-C3N4超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善其性能.
电化学沉积DLC和CNx薄膜的微观形貌比较
【摘 要】
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类金刚石碳膜(简称DLC膜)是一类具有高硬度、化学惰性、低介电常数、宽光学带隙等特点的非晶碳膜,在机械、电子、化学等领域具有广阔的应用前景.类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2004年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，中国科学院"百人计划"
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