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为使半导体生产线光刻设备的TRACK系统正常运行，有效地避免死锁，提高设备利用率，提出了一种无死锁调度算法，在不会引发死锁的务件下为需要调度的工件确定加工组件，同时考虑到组件发生故障的情况，及时排除故障的影响，并通过仿真证明了算法的有效性。
光刻设备TRACK系统的无死锁调度算法
【摘 要】
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为使半导体生产线光刻设备的TRACK系统正常运行，有效地避免死锁，提高设备利用率，提出了一种无死锁调度算法，在不会引发死锁的务件下为需要调度的工件确定加工组件，同时考虑到组件
【机 构】
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同济大学控制科学与工程系,机械制造系统工程国家重点实验室
【出 处】
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计算机工程与应用
【发表日期】
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2006年7期
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