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本文采用真空高压惰性气体雾化法制备了Fe Si Cr合金软磁粉末,适合的雾化参数为雾化压力4.5 MPa,金属熔体温度为1500℃,导液管内径为5 mm,通过场发射扫描电镜对粉末的微观形貌进行了研究;结果表明,气雾化法制备的Fe Si Cr粉末颗粒大部分为近球形,且粉末的粒度分布比较均匀。