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针对常见的低南介质材料分析了其化学机械全局平坦化的机理，并进一步探讨了低南介质化学机械抛光中包括压力、磨料、pH值和温度在内的几个因素对于抛光速率和表面状态等方面的影响。
ULSI中低k介质的化学机械全局平坦化分析研究
【摘 要】
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针对常见的低南介质材料分析了其化学机械全局平坦化的机理，并进一步探讨了低南介质化学机械抛光中包括压力、磨料、pH值和温度在内的几个因素对于抛光速率和表面状态等方面的
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年3期
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