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本文通过对磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺的研究，指出在不同．Y-艺气体流量下，在不同溅射功率下，如何稳定控制部分氧化镍铬膜的生产。
浅析部分氧化镍铬膜生产工艺
【摘 要】
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本文通过对磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺的研究，指出在不同．Y-艺气体流量下，在不同溅射功率下，如何稳定控制部分氧化镍铬膜的生产。
【机 构】
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金堆城洛阳节能玻璃有限公司
【出 处】
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建筑玻璃与工业玻璃
【发表日期】
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2013年5期
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