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介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法。并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理．结合多年的投影光刻机维修经验分析了两例双频激光干涉仪及工作台系统的故障和解决步骤。
基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析
【摘 要】
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介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法。并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理．结合多
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年2期
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