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文中设计并分析了一个MEMS热驱动可变电容，它的下极板固定于衬底，上极板通过热致动器驱动。热致动器由冷臂和热臂组成，一端通过锚点固定于衬底，一端连接在电容器上极板。热驱动器通过电压驱动使MEMS电容器上极板上下运动。文中作者使用有限元方法模拟了150-300μm加热臂长在0～4V电压条件下的电容变化值和温度变化，有限元模拟结果表明其电容变化率最大可达10倍。