【摘 要】
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微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注.利用微机电系统(MEMS)加工技术,制备Si基膜片型微结构单元,并分析其热学
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注.利用微机电系统(MEMS)加工技术,制备Si基膜片型微结构单元,并分析其热学性能.这种单元工作区温度为～300℃时,加热功率约75mW;并且膜片工作区的热质量很小,温度可以于毫秒量级的时间内,在室温和450℃之间调制.利用这种微结构单元,可以在温度调制方式下,研究气敏薄膜的电学特性和敏感机理.
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