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本文介绍国内外低压合成金刚石薄膜中对衬底表面预处理的几种典型的工艺方法；探讨衬底表面预处理对低压下合成金刚石薄膜的影响。
金刚石薄膜衬底表面预处理技术
【摘 要】
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本文介绍国内外低压合成金刚石薄膜中对衬底表面预处理的几种典型的工艺方法；探讨衬底表面预处理对低压下合成金刚石薄膜的影响。
【机 构】
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郑州航空工业管理学院应用科学系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年3期
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