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研究了制备由K个水平(元素含量)的任意n种元素所组合的材料芯片的掩膜策略，即K分分形的掩膜策略，它不仅弥补了以往掩膜策略的缺陷，而且具有普遍适用性和更高的灵活性。
制备材料芯片的K分分形掩膜策略
【摘 要】
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研究了制备由K个水平(元素含量)的任意n种元素所组合的材料芯片的掩膜策略，即K分分形的掩膜策略，它不仅弥补了以往掩膜策略的缺陷，而且具有普遍适用性和更高的灵活性。
【机 构】
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《高技术通讯》联系人,上海交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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2004年6期
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