【摘 要】
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用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）方法测量了铱硅化物（ＩｒＳｉ）的芯能级谱。得到了与化学键有关的化学位移和芯能级对称性变化方面的信息。提出了ＩｒＳｉ／Ｓｉ肖特基势垒形成机理与界面处ＩｒＳｉ和Ｓｉ原子的化学键密切相关。
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用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）方法测量了铱硅化物（ＩｒＳｉ）的芯能级谱。得到了与化学键有关的化学位移和芯能级对称性变化方面的信息。提出了ＩｒＳｉ／Ｓｉ肖特基势垒形成机理与界面处ＩｒＳｉ和Ｓｉ原子的化学键密切相关。本文结果有益于了解用铱硅化物肖特基势垒制备红外探测器。
The core energy spectrum of iridium silicide (IrSi) was measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Chemical bond-related chemical shifts and changes in core-level symmetry are obtained. It is proposed that the formation mechanism of IrSi / Si Schottky barrier is closely related to the chemical bond of IrSi and Si atoms at the interface. The results of this paper are helpful to understand the use of Iridium silicide Schottky barrier infrared detector.
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