【摘 要】
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阐述了一种新颖的横向剪切-外差干涉有测量方法.这种方法集横向剪切干涉测量方法与外差测量方法于一体,使二者的优点得以发扬.由于取消了参考基准面,采用外差探测,干涉条纹的
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天工程与力学系,哈尔滨工业大学航天工程与力学系,哈尔滨工业大学航天工程与力学系,哈尔滨工业大学航天工程与力学系 工程师
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阐述了一种新颖的横向剪切-外差干涉有测量方法.这种方法集横向剪切干涉测量方法与外差测量方法于一体,使二者的优点得以发扬.由于取消了参考基准面,采用外差探测,干涉条纹的判读不仅容易,而且精度高,为大口径高精度平面的测量提供了一种可行的测量方法。
A novel measurement method of transverse shear-heterodyne interference is described, which integrates transverse shearing interferometry and heterodyne measurement, so as to promote the advantages of both.As a result of eliminating the reference datum, The use of heterodyne detection, interference fringe interpretation is not only easy, but also high precision, large diameter high-precision plane measurement provides a viable measurement method.
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