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介绍了制版工艺中常见的缺陷类型，分析了缺陷产生与温湿度的关系。通过实际工作应用，就缺陷控制的办法进行了有益的探讨，对光掩模版的制造有一定的指导意义。
温湿度对制版图形缺陷的影响
【摘 要】
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介绍了制版工艺中常见的缺陷类型，分析了缺陷产生与温湿度的关系。通过实际工作应用，就缺陷控制的办法进行了有益的探讨，对光掩模版的制造有一定的指导意义。
【机 构】
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模拟集成电路国家重点实验室、中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2006年1期
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