【摘 要】
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使用FEPG软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对TiN单层膜和TiN/Ti/TiN/Ti/TiN
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使用FEPG软件编程,对维氏压头的微硬度实验进行模拟,建立了一种针对膜基体系有限元计算的新模型,该模型考虑了边界摩擦和实时跟踪接触因素,在对TiN单层膜和TiN/Ti/TiN/Ti/TiN/Ti 6层膜压痕的模拟分析后,得出"载荷-压痕对角线长度关系曲线"和"硬度-载荷关系曲线"以及塑性区分布图,并对微硬度实验中的压头的压入深度相对于单层膜膜层厚度和多层膜中组分膜膜层厚度的取值进行了讨论.与其他文献中的实验比较,结果吻合.说明模型是合理的,结果是可靠的,对实际应用具
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