【摘 要】
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应用光力学效应的非制冷红外焦平面阵列(Focal Plane Array-FPA),配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8至14μm光谱区得到热物体成像.其核心部件是双材料悬臂梁结构的焦
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学技术大学力学与机械工程系
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应用光力学效应的非制冷红外焦平面阵列(Focal Plane Array-FPA),配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8至14μm光谱区得到热物体成像.其核心部件是双材料悬臂梁结构的焦平面阵列.不同于利用其他效应的非制冷红外成像系统,此种成像系统可以方便的在室温下正常工作,而且省去了相当复杂的信号转换电路,降低了制备复杂程度和成本.采用MEMS表面硅工艺制备FPA,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理、光学读出系统、工艺制备难点,并得到了高温物体红外源的成像响应结果.
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