纳米压痕硬度尺寸效应的残余面积最大压深模型

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yinjie340
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针对材料在纳米压痕硬度测试实验中出现的压痕尺寸效应,通过对单晶硅的纳米压痕实验,得到压痕的真实最大压深,再利用原子力显微镜获得压痕的三维形貌,并结合Matlab软件得到压痕的真实残余面积.以残余面积和最大压深为变量,提出了一种新的描述硬度压痕尺寸效应的模型--残余面积最大压深模型,此模型能更好地描述和理解纳米压痕硬度的尺寸效应.
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