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簇工具执行的一些晶片制造过程要求重游。与晶片重游，一个簇工具是很困难的为重游的进程由于很多可能的时间表被安排。原子层免职(ALD ) 是有晶片重游的一个典型过程那应该被簇工具执行。这份报纸为 ALD 过程讨论单个手臂的簇工具的安排问题。在安排如此的一个系统，最困难的部分是安排重游的进程以便周期时间被最小化。因此，这份报纸与重游时间 k = 学习 ALD 的重游的过程 3， 4，和 5，并且分析表情被获得为可能的 k 计算周期时间时间表。然后，有最小的周期时间的时间表是最佳的。这样，如此的一个重游的过程的安