论文部分内容阅读
FD-SOI作为一种特殊的半导体制造工艺,其独特的技术优势在于:第一、能够大大减小寄生电容,提高运行速度,与硅材料相比,SOI器件的频率提高了20％～ 35％;第二、降低了漏电,具有更低的功耗;第三、消除了闩锁效应;第四、抑制了衬底的脉冲电流干扰,减少了软错误的发生;第五、与现有硅工艺兼容,可减少13％～ 20％的工序等.