【摘 要】
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介绍了对高功率 XeCl 准分子激光 MOPA 系统中前三台激光器的输出激光进行的参数测量。实验分别对 MOPA 系统的前端输出种子光及其经过一级、二级、三级放大后所得激光进行了
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介绍了对高功率 XeCl 准分子激光 MOPA 系统中前三台激光器的输出激光进行的参数测量。实验分别对 MOPA 系统的前端输出种子光及其经过一级、二级、三级放大后所得激光进行了测量,研究包括采用哈特曼波前传感器对激光近场波前的测量和采用激光光束分析仪对激光远场光强的测量两个方面,分别得出激光的近场相位均方根误差和不同光斑尺寸定义下的远场发散角等实验测量结果,将实验结果与系统设计值进行比较分析,从而对激光器系统输出激光作出评价。
The parametric measurements of the output lasers of the first three lasers in a high power XeCl excimer laser MOPA system are presented. Experiments were carried out on the front end of the MOPA system output seed light and its after the first grade, two, three amplified laser was measured, including the use of Hartmann wavefront sensor on the laser near-field wavefront measurement and the use of laser beam The analyzer measured the laser far-field light intensity two aspects, respectively, the laser near-field phase root mean square error and the different spot size under the definition of the far-field divergence angle and other experimental measurements, the experimental results and system design values Comparative analysis, laser output laser to make a comment.
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