激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：LUEYONGS

【摘要】

：

运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果.该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了

【作者】

：

杨道虹徐晨董典红金文贤阳启明张剑铭沈光地

【机构】

：

北京工业大学电子信息与控制工程学院

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

MEMS ND:YAG激光硅/玻璃键合 MEMS Nd: YAG laser silicon/glass bonding

【基金项目】

：

北京市教委科研项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果.该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础.

其他文献

8、非晶合金变压器

北京变压器二厂　　产品型号:SH11-100～630/10　　地址:北京市通州区梨园　　序号:257 邮编:101101　　……

期刊

骨折合并脂肪栓塞的护理体会

骨折是常见疾病，但是，骨折早期并发症往往急聚凶险，如：常见的创伤性和失血性休克，创伤性急性呼吸衰弱，脂肪栓塞，其后果目前在各类骨折中，平均发生率为7％左右，死亡率为8％。我科收治了3例

期刊

外科护理骨折合并症脂肪栓塞

试论『角色的创造』

我在越剧<红楼梦>中饰演宝玉,"哭灵"一开场,即用高亢的一声:"林妹妹,……我来迟了,我来迟了……"充分表达了宝玉受贾母及王熙凤等人"调包计"之骗的懊丧、愤怒的神情.后来在回

期刊

头面部烧伤的护理

头面部是暴露部位,易遭烧伤或烫伤。头、面部烧伤后,肿胀变形,张口困难,有的还伴有吸入性损伤,致呼吸困难,对此类伤员应作好应急准备,床边备有吸痰器和气管切开包等,倘若伤员

期刊

头面部烧伤耳廓分泌物烧伤创面头皮现声外耳道烧伤部位应急准备棉球

厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究

研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响.结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大,

期刊

厚膜永磁阵列微致动器磁场分布电磁力磁路微机电系统permanent magnet arrays magnetic field distribution

温室大棚杏栽培在江苏东海获成功

2013年5月6日一大早，江苏新沂市苏果超市一次性从东海县桃林镇大李村农民李振响家采购了100kg金太阳杏。李振响点着一大沓钞票开心地笑了。当前，温室大棚栽培油桃、葡萄等果树

期刊

温室大棚栽培大棚杏东海县江苏花粉生命力金太阳杏一次性新沂市

奴庆合剂的研制及临床应用

慢性胃炎和消化性溃疡是消化系统疾患的常见病、多发病,发病率高、病程长、难治愈、易复发.大量的研究表明,幽门螺杆菌(HP)是慢性胃炎的病原菌,是消化性溃疡的重要致病因子[1

期刊

奴庆合剂消化性溃疡慢性胃炎幽门螺菌HP

Ni80Fe20／Mo纳米多层膜的互扩散

针对Ni80Fe20/Mo纳米多层膜在实际应用中经常面临的热稳定性问题,研究了多层膜在343～683K温度范围内的互扩散行为,测定了其有效互扩散系数Dλ。小的激活焓来源于多层膜中存在

期刊

Ni80Fe20/Mo亚层激活焓互扩散关系多层膜Ni80Fe20/Mo Sublayers Activation enthalpy Interdiff

KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究

介绍了利用激光ＬＩＧＡ工艺中的激光深层光刻技术对紫外光刻胶进行深层光刻的实验研究成果，对远紫外激光与光刻胶相互作用的机理进行了讨论，给出了ＫｒＦ准分子激光刻蚀紫外光刻胶的能量阈值

期刊

激光光刻微细加工LIGA工艺IC工艺Laser lithography Micromachining LIGA process

氢,氦共注入的硅样品的退火行为

在以氢先氦后的顺序注入的硅样品中，经不同温度的退火，发现比氢、氦分别单独注入时小得多的注入剂量足以使硅样品表面产生砂眼及了。本文用ＲＢＳ／Ｃ、Ｘ射线罩是衍射、ＡＦＭ、ＸＴＥＭ等不同方法对氢、

期刊

离子注入砂眼剥离SOI退火硅样品Ion-implantation Blistering Exfoliation SOI

激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用

与本文相关的学术论文