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高纯度和高产率的制备碳纳米管是碳纳米管研究的一个重点。目前制备碳纳米管的方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法（又称CVD法）和模板法等。本文主要介绍采用PECVD化学气相沉积法制备碳纳米管，并对该种方法制备碳纳米管进行了系统的研究和探讨。
对PECVD制备碳纳米管的研究和探讨
【摘 要】
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高纯度和高产率的制备碳纳米管是碳纳米管研究的一个重点。目前制备碳纳米管的方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法（又称CVD法）和模板法等。本文主要介绍采用PECVD化学气
【机 构】
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绍兴文理学院
【出 处】
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大学物理实验
【发表日期】
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2007年2期
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