多晶硅的表面金属杂质引入探讨

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本文主要通过ICP-MS法测定多晶硅出炉后各个阶段的表面金属杂质含量,找出多晶硅出炉后各个阶段表面金属杂质的引入方式,探讨各个阶段对多晶硅表面金属杂质含量的影响。
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