论文部分内容阅读
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀（Ti,Al）N/TiN/（Ti,Al）N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响。实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果推出，随着脉冲偏压幅值的增加，涂层中Al含量先增加，然后减少，偏压幅值为-150V时，Al含量高达36.41at%，偏压幅与涂声能显微硬度的关系有相似的